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Rusia y Bielorrusia apuntan a equipamiento para chips de 65 nm

Rusia y Bielorrusia están desarrollando equipos de fotolitografía y fotomáscaras para chips de 90–65 nm, con la mayoría de los sistemas previstos para 2026.

Imagen: iXBT

Rusia y Bielorrusia están desarrollando conjuntamente equipamiento para la producción de semiconductores de 90–65 nm, con el objetivo de cubrir etapas clave de la fabricación de fotomáscaras y de la fotolitografía sin depender de ASML. El proyecto se está desarrollando con la empresa bielorrusa Planar, según CNews y materiales del Ministerio de Industria y Comercio de Rusia.

Las fotomáscaras son placas de vidrio de precisión que contienen el patrón de un futuro chip. Durante la fotolitografía, ese patrón se transfiere a una oblea de silicio. El equipamiento previsto incluye:

  • Un generador de imágenes para fotomáscaras utilizado con tecnologĂ­as de proceso de 90–65 nm
  • Un sistema para inspeccionar la topologĂ­a de las fotomáscaras
  • Equipamiento para transferir marcas de alineaciĂłn al reverso de una placa
  • Un sistema que comprueba las coordenadas de las caracterĂ­sticas topolĂłgicas
  • Un sistema de retoque láser para eliminar defectos
  • Un conjunto para el monitoreo de los defectos introducidos
  • Equipo para inspeccionar recubrimientos de enmascaramiento semitransparentes

La mayoría de los sistemas están programados para completarse en 2026, mientras que la parte final del complejo se espera para 2027. En conjunto, están destinados a cubrir el proceso desde la creación del patrón del chip hasta el control de calidad y la corrección de defectos. El retoque láser, por ejemplo, podría corregir errores menores directamente en una fotomáscara en lugar de exigir que se fabrique de nuevo.

Roman Tinyaev, socio de Strategy Partners, dijo que Planar posee la principal experiencia para desarrollar este tipo de equipamiento y ha preservado una escuela de ingeniería que se remonta a la época soviética. Rusia actúa como cliente e integrador de sistemas, además de aportar la financiación para el desarrollo.

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El proyecto forma parte de un programa estatal para el desarrollo de la ingeniería electrónica. Para 2030, el programa tiene como objetivo sustituir alrededor del 70% del equipo y los materiales importados utilizados en la producción de microelectrónica, con más de 240.000 millones de rublos asignados para su implementación.

Tomas Berg

Computing Editor

Tomas lives in the terminal. He covers chips, laptops, and operating systems with a focus on performance and efficiency. He reads kernel changelogs the way other people read fiction, and he's always on the hunt for the perfect mechanical keyboard switch. If it processes data, Tomas has an opinion on it.

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